下载一种微带滤波器的制造方法的技术资料

文档序号:19541336

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本发明公开了一种微带滤波器的制造方法,包括以下步骤:S1、准备一块P型硅片,在P型硅片上进行硼扩散,制造P+区;S2、根据滤波器指标设计电路图形;S3、根据电路图形将多晶硅通过磁控溅射或光刻的方式印制在硅片的上表面;S4、将液态聚四氟乙烯和...
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