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本实用新型一种改用于承载晶圆的晶舟及应用其的原子层沉积炉管，其中的晶舟包括将顶部稳流件可抽取式地插入第一凹槽，以在顶盖与晶圆之间形成阻挡；将底部稳流件可抽取式插入第二凹槽，以在底座和晶圆之间形成阻挡；装载多个晶圆在装载架中，包括将多个晶圆中...
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