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本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于合成氮化硅粉体的反应系统，包括微波等离子预热器、悬浮反应器和保温冷却器。悬浮反应器包括炉管、炉壳、加热火炬和喷管；炉管内腔分为加热区和反应区，炉管的上端固定有加热火炬，炉管下端设有出料口；炉壳套设...
该专利属于浙江东瓷新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江东瓷新材料有限公司授权不得商用。

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