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本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于氮化硅粉体合成的预热及保温冷却系统，包括微波等离子预热器和保温冷却器。微波等离子预热器包括氮气管道、第一喷射器、微波等离子火炬、第二喷射器、预热器壳体和盘管；第一喷射器与第二喷射器连接；微波等离子...
该专利属于浙江东瓷新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江东瓷新材料有限公司授权不得商用。

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