下载一种内嵌反射镜的二维材料光电探测器及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:19514210

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本发明属于微纳光电子技术领域,公开了一种内嵌反射镜的二维材料光电探测器及其制备方法。所述二维材料光电探测器自下而上依次包括衬底、金属反射镜、介质层、二维材料和源漏电极。在衬底与介质层之间内嵌金属反射镜,具体制备步骤为:先在衬底上镀一层高反射...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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