下载一种光学系统多角度像质检测装置及方法的技术资料

文档序号:19508790

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于光学检测领域,具体涉及一种光学系统多角度像质检测装置及方法,装置包括干涉仪、干涉仪二维调整基座、干涉仪运动导轨、第一折转镜三维调整基座、第一光路折转反射镜、折转镜移动导轨、第二光路折转反射镜、第二折转镜三维调整基座、被检光学系统、...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。