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一种光学系统多角度像质检测装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:19508790
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本发明属于光学检测领域,具体涉及一种光学系统多角度像质检测装置及方法,装置包括干涉仪、干涉仪二维调整基座、干涉仪运动导轨、第一折转镜三维调整基座、第一光路折转反射镜、折转镜移动导轨、第二光路折转反射镜、第二折转镜三维调整基座、被检光学系统、...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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