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一种电镀槽结构，包括一槽体、至少一喷流模块、至少一电镀液回收模块以及一循环供给模块，该槽体内可容纳电镀液，中央区域为一晶圆置放区；该喷流模块设置于槽体内的侧壁，由下而上依序分布着多个喷流孔，能面对该晶圆置放区接续涌出电镀液，该电镀液回收模块...
该专利属于姜力;于勇所有，仅供学习研究参考，未经过姜力;于勇授权不得商用。

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