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传感器芯片、标志物检测装置及检测方法制造方法及图纸
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文档序号:19486539
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本发明揭示了一种传感器芯片、标志物检测装置及检测方法,传感器芯片包括:嵌套式开环谐振器和微带传输线,所述嵌套式开环谐振器包括多个开口环的嵌套,所述多个开口环的开口依次间隔排列且排列方向并垂直于开口边,所述嵌套式开环谐振器与所述微带传输线构成...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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