下载一种基于多对电极电容成像检测技术判别非导体缺陷深度的方法的技术资料

文档序号:19486530

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本发明公开了一种基于多对电极电容成像检测技术判别非导体缺陷深度的方法,涉及无损检测信号处理领域,包括:接收输入的多对电极电容成像检测信号,其中所述检测信号包含缺陷检测信号Yn和无缺陷检测信号YSn;求缺陷信号变化值△Yn=Yn‑YSn,并同...
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