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一种脊形半导体激光二极管的制备方法技术
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文档序号:19485110
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一种脊形半导体激光二极管的制备方法,包括:(1)制备GaN LD外延片(2)利用掩膜、光刻工艺在所述GaN LD外延片的表面制备脊形结构,所述脊形结构的底边被光刻至所述P型波导层(3)向所述GaN LD外延片的表面采用离子注入方法形成绝缘层...
该专利属于潍坊华光光电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过潍坊华光光电子有限公司授权不得商用。
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