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一种自动双室磁控蒸发真空设备制造技术
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文档序号:19461013
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本实用新型公开了一种自动双室磁控蒸发真空设备,包括真空室、磁控室和蒸发室,真空室的内部设置有磁控室,磁控室的一侧设有蒸发室,磁控室和蒸发室之间设置有滑轨,滑轨上设有电动滑块,蒸发室的内壁安装有温度传感器,蒸发室的外侧固定有加热板,加热板的一...
该专利属于深圳市美格真空炉有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市美格真空炉有限公司授权不得商用。
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