下载一种薄膜的热分解制备方法的技术资料

文档序号:19448030

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本发明公开一种薄膜的热分解制备方法,其特征在于包括如下步骤:步骤a:设计一款薄膜制备设备;步骤b:将压缩管的进口端与雾化器的气溶胶输出端连通,并在雾化器内加入待热解反应的前驱体液体;步骤c:先启动雾化器,待前驱体液体被雾化产生气溶胶后;步骤...
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