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本发明涉及掩模版及其制作方法，该掩模版包括具有多个镂空孔的开孔区、用于夹持掩模版的夹持区以及位于所述开孔区与所述夹持区之间的应力缓冲区，应力缓冲区包括至少一个凸部和至少一个凹部，并且凸部和凹部一一对应地设置于掩模版的相对的两个表面，所述应力...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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