下载紧凑源极镇流器MOSFET及其制备方法的技术资料

文档序号:19431672

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一种沟槽金属‑氧化物‑半导体场效应晶体管(MOSFET)器件,包括一个第一导电类型的衬底,一个第二导电类型的本体区,一个形成在栅极沟槽中的栅极电极,在本体区和衬底中延伸,一个轻掺杂源极区和一个形成在本体区中的重掺杂源极区,以及一个延伸到本体...
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