下载电极结构及其制备方法、阵列基板的技术资料

文档序号:19431627

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种电极结构,其包括形成在衬底上的铜金属层,所述铜金属层自上表面起的第一深度范围内掺杂有第一金属离子,所述第一金属离子与铜晶粒通过金属键结合形成铜合金层;其中,所述第一深度小于所述铜金属层的厚度,所述第一金属离子为具有耐腐蚀性并...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。