温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种物理与化学相结合恢复GaN‑LED用蓝宝石图形衬底的方法，包括如下步骤：a)将废外延片高温烘烤；b)在丙酮溶液中超声处理；c)在乙醇溶液中超声处理10min；d)在硫酸与双氧水混合溶液中清洗；e)ICP刻蚀；f)在丙酮溶液中超声处理；g...
该专利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东浪潮华光光电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。