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一种用于获取表面势的方法及装置制造方法及图纸
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下载一种用于获取表面势的方法及装置的技术资料
文档序号:19425645
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本发明提供了一种用于获取表面势的方法及装置,方法包括:获取多个目标器件的参数信息,参数信息包括:尺寸、器件结构、材料参数以及不同温度下的各所述目标器件的载流子迁移率;所述多个目标器件包括:常规材料制备的器件以及表面势已经被确定的新型材料制备...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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