下载一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置及其应用的技术资料

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本发明涉及一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置及其应用。本发明所述装置包括光源模块、起偏模块、样品台、磁场模块、检偏模块、探测及分析模块和电机控制模块。通过使用氙灯光源加单色仪的组合来实现光谱磁光椭偏分析,光谱测量范围为300nm‑...
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