下载双组份酸性蚀刻液循环再生装置的技术资料

文档序号:19414007

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本实用新型提供了一种双组份酸性蚀刻液循环再生装置,包括蚀刻废液储存槽、隔膜电解槽、再生液储存槽、水汽混合器、循环槽及盐酸供给装置,该双组份酸性蚀刻液循环再生装置还包括氯化铵供给装置,该氯化铵供给装置包括氯化铵储存槽、泵体及管道。该技术有效的...
该专利属于何世武所有,仅供学习研究参考,未经过何世武授权不得商用。

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