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固体激光器装置、固体激光器系统以及曝光装置用激光装置制造方法及图纸
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文档序号:19398506
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固体激光器装置具有:种子激光器,其输出作为CW激光的种子光;光强度可变部,其通过变更种子光的光强度而将种子光脉冲化,并作为种子脉冲光而输出;CW激励激光器,其输出CW激励光;放大器,其基于通过CW激励光的光激励而被增加的放大增益,将种子脉冲...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。
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