下载层结构竖直场效应晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:19398004

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

层结构III族氮化物竖直场效应晶体管,包括:基板;覆盖所述基板具有窗口,且用于部分暴露所述基板的掩膜层;在所述基板上从所述掩膜层的窗口外延生长出来的漏区;外延生长在所述漏区顶表面上的绝缘层;外延生长在所述绝缘层顶面上的源区;和外延生长在所述...
该专利属于姜全忠所有,仅供学习研究参考,未经过姜全忠授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。