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集成化探针结构制造技术
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文档序号:19391930
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根据各种实施例提供的是一种探针结构。该探针结构包括被构造为发出声能的探针。该探针结构还包括位于探针下方并与探针对准的负荷传感器。该探针结构还包括探针套,该探针套包括用于接纳探针和负荷传感器的空腔。...
该专利属于神经系统分析公司所有,仅供学习研究参考,未经过神经系统分析公司授权不得商用。
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