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本发明属于薄膜晶体管制备技术领域，公开了一种溶液法制备高密度氧化锆绝缘层薄膜的方法。将Zr(NO3)4·5H2O和H3BO3溶于乙二醇单甲醚中，搅拌老化得到前驱体溶液；在ITO玻璃衬底上旋涂所得前驱体溶液，然后退火处理，得到高密度ZrO2绝...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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