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一种晶片加热装置，涉及一种加热装置。均热板板面按阵列排布设置有多个通孔，均热板内部有蛇形迂回内腔，蛇形迂回内腔与多个通孔相配合并错位设置，加热电阻丝匹配布置在蛇形迂回内腔内，均热板上表面每个通孔对应位置固定有耐热橡胶套，耐热橡胶套为圆筒状，...
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