下载一种硅基防水膜及麦克风封装结构的技术资料

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本实用新型公开了一种硅基防水膜及麦克风封装结构,包括一硅基片,所述硅基片上设有多个直径为0.8~1.2um的孔洞。上述技术方案具有如下优点或有益效果:防水膜上多个孔洞通过半导体工艺制成,降低了防水膜的制作成本,且提高了孔洞大小的一致性,提高...
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