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本实用新型涉及一种质谱仪系统，其可包含真空歧管和高真空泵。所述真空歧管可包含前级管道腔室和高真空腔室。所述前级管道腔室可具有源入口、前级管道入口和前级管道出口。所述高真空泵可具有耦合到高真空腔室的真空端口和耦合到所述前级管道入口的前级管道端...
该专利属于萨默费尼根有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过萨默费尼根有限公司授权不得商用。

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