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本实用新型涉及晶片加热技术领域，提供一种温度调节装置及晶片真空加热装置。其中，温度调节装置包括多块角度可调的反射板，安装在晶片以及用于加热所述晶片的加热单元之间的热传递路径上，用于调整所述加热单元向各块所述晶片辐射的热量。本实用新型的温度调...
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