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一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法技术
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文档序号:19358711
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本发明提供一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法,属于电子器件散热技术领域。在不浸润的固体片表面沉积一层连续的Ga2O3薄膜,还原退火Ga2O3薄膜形成从里往外结构的Ga2O3层/Ga‑O混合层/金属Ga层的复合结构薄膜。将镓基液态金属滴...
该专利属于鲁东大学所有,仅供学习研究参考,未经过鲁东大学授权不得商用。
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