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本发明涉及一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺，在通常的PECVD镀膜后，将硅烷、氨气关闭，进一步利用氢气进行等离子体沉积。本发明提供的PECVD工艺形成的减反射膜层中具有高浓度的氢含量，为后续的电注入及光注入钝化工艺提供充分的...
该专利属于江西展宇新能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西展宇新能源股份有限公司授权不得商用。

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