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一种驻波型双振子无阀压电泵及其工作方法技术
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文档序号:19331337
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本发明公开了一种驻波型双振子无阀压电泵及其工作方法,泵包含两个预压力顶板、两个压电振子、两个硅橡胶层和基板,其中,两个硅橡胶层分别放置在基板的两侧;硅橡胶层的外侧分别放置两个压电振子;压电振子的外侧分别放置两个预压力顶板;螺栓将所述结构固定...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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