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体声波谐振器制造技术
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文档序号:19326683
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本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:支撑构件,设置在气腔之间;谐振部,包括顺序地设置在所述气腔的上方和所述支撑构件上的第一电极、压电层和第二电极;以及布线电极,连接所述第一电极和所述电极中的任意一者或两者,并设置在所述气腔中的...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。
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