The present invention provides a bulk acoustic resonator. The bulk acoustic wave resonator comprises a support member arranged between the air chambers, a resonant part comprising a first electrode, a piezoelectric layer and a second electrode sequentially arranged above the air chamber and on the support member, and a wiring electrode, which is connected to either or both of the first electrode and the said electrode, and is arranged. The upper surface of the supporting member is wider than the lower surface of the supporting member, and the side surface connecting the upper surface and the lower surface of the supporting member is inclined.
【技术实现步骤摘要】
体声波谐振器本申请要求于2017年4月19日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0050609号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
以下描述涉及一种体声波谐振器。
技术介绍
近来，根据移动通信装置以及化学和生物装置的飞速发展，对在这些装置中使用的小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声谐振质量传感器的需求也已经增加。膜体声波谐振器(FBAR)是实现小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声谐振质量传感器的已知的构件。膜体声波谐振器可以以最小的成本大批量生产，并可实现为具有超小型尺寸。此外，FBAR可提供作为滤波器的主要特性的高品质因子(Q)值，甚至可被使用在微波频带中，并且还可实现个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的特定频带。通常，FBAR包括通过在基板上顺序地堆叠第一电极、压电层和第二电极而实现的谐振部。在操作FBAR时，通过将电能施加到第一电极和第二电极而在压电层中诱发出电场，通过诱发的电场在压电层中产生压电现象，使得谐振部在预定方向上振动。结果，在与谐振部振动的方向相同的方向上产生体声波，导致...
【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，包括：支撑构件，设置在气腔之间；谐振部，包括顺序地设置在所述气腔的上方和所述支撑构件上的第一电极、压电层和第二电极；以及布线电极，连接所述第一电极和所述第二电极中的任意一者或两者，并设置在所述气腔中的一个的上方，其中，所述支撑构件的上表面的宽度大于所述支撑构件的下表面的宽度，并且所述支撑构件的将所述上表面和所述下表面彼此连接的侧表面是倾斜的。
【技术特征摘要】
2017.04.19 KR 10-2017-00506091.一种体声波谐振器，包括：支撑构件，设置在气腔之间；谐振部，包括顺序地设置在所述气腔的上方和所述支撑构件上的第一电极、压电层和第二电极；以及布线电极，连接所述第一电极和所述第二电极中的任意一者或两者，并设置在所述气腔中的一个的上方，其中，所述支撑构件的上表面的宽度大于所述支撑构件的下表面的宽度，并且所述支撑构件的将所述上表面和所述下表面彼此连接的侧表面是倾斜的。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括框架，所述框架沿着所述谐振部的边界表面在所述气腔中的每个延伸。3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述支撑构件由二氧化硅和氮化硅中的任意一者或两者形成。4.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架从所述支撑构件突出。5.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架与所述支撑构件分开。6.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架由包括拉伸应力和压缩应力中的任意一者或两者的材料形成。7.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架和所述谐振部包括符号彼此不同的弹性温度系数。8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括设置在所述气腔中的所述一个中的辅助支撑构件。9.根据权利要求8所述的体声波谐振器，其中，所述辅助支...
【专利技术属性】
技术研发人员：金泰润，李文喆，朴润锡，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR
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