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一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器及其制备方法技术
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下载一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:19324611
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本发明公开了一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器及其制备方法,包括玻璃纤维布衬底,设置于玻璃纤维布衬底上的β‑Ga2O3薄膜、设置于β‑Ga2O3薄膜上方的β‑Ga2O3纳米柱阵列、设置于β‑Ga2O3纳米柱阵列上方的Ti/Au薄...
该专利属于陈谦所有,仅供学习研究参考,未经过陈谦授权不得商用。
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