The invention discloses a glass fiber-based flexible gallium oxide nanoarray solar-blind ultraviolet detector and a preparation method thereof, including a glass fiber cloth substrate, a beta Ga2O3 film on the glass fiber cloth substrate, a beta Ga2O3 nanocolumn array on the top of the beta Ga2O3 film, and a T on the top of the beta Ga2O3 nanocolumn array. I/Au thin film interdigital electrode array, beta Ga2O3 thin film is located between glass fiber cloth substrate and beta Ga2O3 nanocolumn array, the glass fiber cloth substrate can be bent and folded. The MSM Ti/Au/beta Ga2O3/Ti/Au nanoarray flexible solar blind ultraviolet detector has the advantages of uniform thickness, flexible flexibility, large area preparation and good repeatability, and has great application prospects in the fields of wearable equipment, ultraviolet detection and intelligent textiles.
【技术实现步骤摘要】
一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器及其制备方法
本专利技术属于光电探测器
,具体涉及一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器。技术背景由于高压线电晕、宇宙空间、导弹羽烟和火焰等都含有紫外辐射,使得紫外探测技术被广泛应用于军事、科研、航空航天、通信电子等许多领域。β-Ga2O3是一种宽禁带深紫外半导体材料,具有日盲特性,可以检测200-280nm的紫外光,而对太阳光中的紫外线没有响应,将这类材料用于室外高压线电晕、紫外光通讯和火灾监测等领域具有极大的优势,而不受太阳光的干扰。随着人们对电子设备需求的提升,可穿戴电子设备的应用越来越广泛,而这类电子产品需要可弯曲的柔性器件,提高电子设备的便捷性和设计的自由度。常用的紫外光电探测器件都是在刚性衬底上生长半导体薄膜,比如硅片、蓝宝石和石英衬底等,这些器件都无法弯曲,限制了器件的应用范围。由于目前大部分的柔性衬底都是高分子类化合物,无法承受高温,而β-Ga2O3需要在高温700-800℃下合成,因此,急需寻找一种耐高温的柔性衬底作为制作柔性器件的基底。到目前为止,很少有关于柔性日盲紫外光电探测器的 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器,其特征在于,包括玻璃纤维布衬底,设置于玻璃纤维布衬底上的β‑Ga2O3薄膜、设置于β‑Ga2O3薄膜上方的β‑Ga2O3纳米柱阵列、设置于β‑Ga2O3纳米柱阵列上方的Ti/Au薄膜叉指电极阵列,β‑Ga2O3薄膜位于玻璃纤维布衬底和β‑Ga2O3纳米柱阵列之间,所述玻璃纤维布衬底可弯曲和折叠。
【技术特征摘要】
1.一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器,其特征在于,包括玻璃纤维布衬底,设置于玻璃纤维布衬底上的β-Ga2O3薄膜、设置于β-Ga2O3薄膜上方的β-Ga2O3纳米柱阵列、设置于β-Ga2O3纳米柱阵列上方的Ti/Au薄膜叉指电极阵列,β-Ga2O3薄膜位于玻璃纤维布衬底和β-Ga2O3纳米柱阵列之间,所述玻璃纤维布衬底可弯曲和折叠。2.根据权利要求1所述的玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器,其特征在于,所述Ti/Au薄膜叉指电极阵列由若干Ti/Au薄膜叉指电极构成,所述Ti/Au薄膜叉指电极包括Au薄膜电极和Ti薄膜电极,所述Ti薄膜电极位于β-Ga2O3纳米柱阵列上方,所述Au薄膜电极位于Ti薄膜电极上方;所述Au薄膜电极的厚度为60-80nm,Ti薄膜电极的厚度为30-40nm,Au薄膜电极和Ti薄膜电极大小对等,面积为0.5×0.5cm2。3.根据权利要求1所述的玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器,其特征在于,所述β-Ga2O3薄膜厚度为0.5-1.0μm,面积为2.0×2.0~3.0×3.0cm2,所述玻璃纤维布衬底与β-Ga2O3薄膜大小对等;β-Ga2O3纳米柱的直径为100-200nm,高度为1.0-1.5μm。4.一种权利要求1-3任意一项玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一,对玻璃纤维布衬底进行清洗,清洗过程如下:将衬底依次浸泡到丙酮、乙醇、去离子水中各超声10分钟,取出后再用去离子水冲洗,最后用干燥的N2气吹干,待用;步骤二,将玻璃纤维布衬底放置于加热台...
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