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本发明提供一种半导体器件及其制造方法和电子装置,包括:半导体衬底;外延层,覆盖所述半导体衬底的表面,所述外延层具有第一导电类型;第一纳米线,悬空设置在所述外延层的上方;第二纳米线,悬空设置在所述外延层的上方,并与所述第一纳米线间隔设置;第一...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。