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提供一种液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置，在仅通过来自测定对象的液滴表面的光反射量得不到充分的亮度对比度的情况下，不使透镜的数值孔径(NA)等变化而提高亮度对比度。液滴测定装置包括：测定台，其在表面具有凹部，并且保持透光性...
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