液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置制造方法及图纸

提供一种液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置，在仅通过来自测定对象的液滴表面的光反射量得不到充分的亮度对比度的情况下，不使透镜的数值孔径(NA)等变化而提高亮度对比度。液滴测定装置包括：测定台，其在表面具有凹部，并且保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的上述样品基板上照射光，测定来自上述样品基板以及上述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于上述摄像部测定的上述反射光的光量的亮度信息，求出上述液滴的体积或者表面形状，上述样品基板的厚度大于上述光的波长并且为上述液滴的焦距以下。

Droplet measuring method, droplet measuring device, device manufacturing method and manufacturing device

The present invention provides a drop measuring method, a drop measuring device, a device manufacturing method and a manufacturing device, which can improve the brightness contrast without changing the numerical aperture (NA) of the lens when the light reflectivity from the droplet surface of the measuring object can not obtain sufficient brightness contrast. The liquid drop measuring device comprises a measuring table with concave surface and a sample substrate which maintains transparency; a photographic unit which irradiates light on the sample substrate on which the liquid droplet is formed on the surface to determine the amount of light reflected from the sample substrate and the liquid droplet; and a measuring control unit based on the above-mentioned photography. The volume or surface shape of the droplet can be obtained from the luminance information of the reflected light measured by the section. The thickness of the sample substrate is larger than the wavelength of the light and is below the focal length of the droplet.

【技术实现步骤摘要】
液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置
本专利技术涉及液滴测定方法、液滴测定装置以及器件制造方法、器件制造装置。
技术介绍
作为制造液晶显示器的滤色器、有机EL显示器等器件的方法，例如，已知有如下的面板制造方法，即，通过喷墨法从多个喷嘴作为液滴喷吐包含功能性材料的液状体，在印刷对象物形成功能性材料的膜。在该情况下，获取控制液滴的喷吐量的控制装置的设定与液滴的实际喷吐量的对应关系，从而将液滴的喷吐量控制为固定的值成为重要的工序。这是因为，若液滴的喷吐量不均匀，则功能性材料的膜厚产生差异，从而导致器件的不良。例如，如果是滤色器、有机EL显示器，则膜厚之差作为颜色不均匀、亮度不均匀而被观察到。存在检查来自喷嘴的实际喷吐量的以下方法。已知有如下方法，即，在基板喷吐/涂敷墨水，以光学方式根据墨水液滴的表面的各部位的亮度变化计算该部位处的斜率，求出液滴的体积或表面形状(专利文献1)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-125125号公报
技术实现思路
在像这样根据液滴的亮度信息来计算体积或表面形状的方法中，来自测定对象的液滴表面的光反射量是决定测定精度的重要要素。然而，测定对象的液滴形状越平坦，液滴中心部与液滴外周部的斜率之差越小，存在不能充分地得到在液滴表面反射的光量的对比度的情况。为了得到对比度，可考虑减小摄像透镜的数值孔径NA的方法，但是若减小NA，则在液滴外周部的倾斜大的范围得不到与形状相应的亮度。即，在测定对象的液滴形状平坦的情况下，得不到与倾斜相应的表面反射的充分的亮度对比度。因此，要通过本专利技术解决的课题在于提供一种液滴测定方法、液滴测定装置以及器件制造方法、器件制造装置，在仅通过来自测定对象的液滴表面的光反射量得不到充分的亮度对比度的情况下不使透镜的数值孔径NA等变化而提高亮度对比度。为了解决上述课题，使用如下的液滴测定装置，即，包括：测定台，其在表面具有凹部，且保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的所述样品基板上照射光，测定来自所述样品基板以及所述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于所述摄像部测定的所述反射光的光量的亮度信息，求出所述液滴的体积或表面形状，所述样品基板的厚度大于所述光的波长，并且为所述液滴的焦距以下。此外，使用如下的器件制造装置，其具有：上述液滴测定装置；保持印刷对象物的生产台；以及在所述印刷对象物涂敷液滴的行式头。此外，使用如下的液滴测定方法，其中，将表面形成了测定对象的液滴的透光性的样品基板设置在表面形成了凹部的测定台，使得所述液滴的背面侧的位置与所述凹部一致，对形成在设置于所述测定台上的所述样品基板的所述液滴照射光并用摄像部进行摄像，在所述样品基板的厚度大于所述光的波长并且为所述液滴的焦距以下的状态下测定来自所述样品基板以及所述液滴的反射光量，基于所述摄像部测定的反射光量求出所述液滴的体积或表面形状。此外，使用如下的器件制造方法，即，在上述液滴测定方法之前或者之后，在上述测定台设置印刷对象物，从具有评价对象的喷嘴的喷吐头对上述印刷对象物喷吐上述功能性材料，制造上述印刷对象物。专利技术效果根据该结构，除了越是测定对象的液滴的中心部就变得越亮的来自液滴表面的反射光以外，根据所述液滴作为透镜表现出来的现象，透射所述液滴并在样品基板的背面反射的光也聚光在所述液滴的附近，得到越是所述液滴的中心部就越亮的亮度分布。即，在所述液滴的表面反射的光和透射所述液滴并在样品基板的背面反射的光均得到越是所述液滴的中心部就变得越亮的亮度分布，因此，与仅对来自所述液滴的表面的反射光进行摄像的情况相比较，可得到高的亮度对比度。因此，在对所述液滴进行摄像时，容易建立亮度信息与倾斜信息的关联，能够根据所述液滴的亮度信息高速且高精度地求出体积或表面形状。由此，能够缩短所述液滴的体积、形状的测定时间，并且能够提高测定精度。附图说明图1是具备液滴喷吐装置和液滴测定装置的面板制造装置的结构图，液滴喷吐装置向印刷对象物喷吐功能性材料的墨水而进行涂敷，液滴测定装置预先对液滴进行测定，使得该墨水的喷吐量接近目标值。图2是本实施方式的液滴测定装置的整体流程图。图3是样品基板的放大剖视图。图4是形成了测定对象的液滴的样品基板的放大俯视图。图5是摄像部的结构图。图6是示出对液滴进行摄像时的光的路径的说明图。图7是示出表示将液滴假定为理想透镜的光的行为的仿真结果的图。图8是示出将液滴形状模型化时的、通过的光的行为的仿真结果的图。图9是设置样品基板的测定台的剖视图。图10是液滴评价工序的流程图。图11是将液滴测定装置和液滴喷吐装置合体的液滴喷吐装置的立体图。附图标记说明1：液滴喷吐装置2：液滴测定装置3：减压腔4：液滴形状测定装置5：喷吐头单元6：行式头7：印刷对象物8：生产台9：载置台10：脚部11：支承部12：台架13：支承台14：分配罐15：液滴喷吐模块头16：印刷控制部17：对应表作成部18：体积算出部19：样品基板20：摄像部21：测定台22：载置台23：台架24：架台25：测定控制部26：对应表作成部27：体积算出部28：支承基板29：高分子膜30：液滴31：虚设液滴32：光源33：照相机34：透镜35：夹具36：扫描轴37：驱动机构38：Z方向驱动机构39、40、41、42、43：光44：凹部45：吸引通路46：焦距47：厚度48：背面49：表面50：光S10：基板作成工序S20：涂敷工序S30：干燥工序S40：摄像工序S50：形状测定工序S60：对应表作成工序S70：液滴评价工序。具体实施方式以下，基于实施方式对本专利技术的液滴测定方法进行说明。(实施方式1)图1示出具备实施本专利技术的液滴测定方法的液滴测定装置的面板制造装置。面板制造装置包括液滴喷吐装置1、液滴测定装置2、减压腔3、以及液滴形状测定装置4。减压腔3在使涂敷的液滴干燥时使用。液滴测定装置2基于对用液滴喷吐装置1喷吐到样品基板19的液滴30进行摄像而得到的亮度信息，在短时间求出液滴30的体积或表面形状。将该结果反馈给液滴喷吐装置1，使此后的液滴喷吐的动作接近作为目标的状态。与液滴测定装置2独立地设置的液滴形状测定装置4是用于作成液滴形状与用液滴测定装置2求出的亮度信息的对应表的装置。在该实施方式中，作为液滴形状测定装置4，使用利用了光干涉的测定机。另外，液滴形状测定装置4可以搭载在液滴喷吐装置1上，也可以搭载在液滴测定装置2上，或者，还可以不搭载在液滴喷吐装置1、液滴测定装置2上，而是作为单体设置在装置外。<液滴喷吐装置1>制造液晶显示器的滤色器、有机EL显示器等器件的液滴喷吐装置1通过喷墨法从喷吐头单元5的行式头6作为液滴而朝向印刷对象物7喷吐包含功能性材料的液状体来制造面板。印刷对象物7设置在喷吐头单元5的铅直下方向的位置的生产台8上。生产台8装配在具有驱动系统的载置台9，向X方向被搬运。在载置台9上具有一对脚部10和装配在脚部10的上方的支承部11。将一对脚部10和支承部11合起来成为门型的台架(gantry)12。在台架12的前面连结具有铅直方向(参照图1中的Z轴方向)的升降轴的支承台13，能够在铅直方向上移动。在该支承台13配设有喷吐头单元5。喷吐头单元5具备多个分配罐14、行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液滴测定装置，包括：测定台，其在表面具有凹部，保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的所述样品基板上照射光，测定来自所述样品基板以及所述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于所述摄像部测定的所述反射光的光量的亮度信息，求出所述液滴的体积或表面形状，所述样品基板的厚度大于所述光的波长，并且为所述液滴的焦距以下。

【技术特征摘要】
2017.04.04 JP 2017-074097;2017.12.26 JP 2017-249161.一种液滴测定装置，包括：测定台，其在表面具有凹部，保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的所述样品基板上照射光，测定来自所述样品基板以及所述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于所述摄像部测定的所述反射光的光量的亮度信息，求出所述液滴的体积或表面形状，所述样品基板的厚度大于所述光的波长，并且为所述液滴的焦距以下。2.根据权利要求1所述的液滴测定装置，所述液滴的焦距是从所述液滴的凸侧入射所述光而使聚光在以顶点为中心的微小范围内的光变多的距离。3.根据权利要求2所述的液滴测定装置，所述微小范围是根据所述摄像部中的照相机的传感器的宽度以及所述摄像部中的透镜的倍率导出的像素尺寸。4.根据权利要求1所述的液滴测定装置，所述样品基板的折射率N为1.4≤N≤1.6。5.根据权利要求1所述的液滴测定装置，在所述样品基板与所述测定台之间配置了一片或厚度相互不同的多片透明性的虚设基板。6.根据权利要求5所述的液滴测定装置，在所述样品基板的表面形成有具有憎水性的高分子膜。7.一种器件制造装置，具有：权利要求1所述的液滴测定装置；保持印刷对象物的生产台；以及对所述印刷对象物涂敷液滴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：末益智志，增永圭二郎，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP