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本实用新型属于MOCVD外延片生产技术领域，提供了一种提升外延片外圈亮度的石墨盘，为圆形石墨盘，在圆形石墨盘上表面设有自中心向外周均匀分布的片槽，片槽上设有半环形凹槽；所述的半环形凹槽的朝向为石墨盘的外侧边缘，半环形凹槽的深度为10～500...
该专利属于淮安澳洋顺昌光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过淮安澳洋顺昌光电技术有限公司授权不得商用。

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