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本实用新型涉及一种溅射装置，包括第一旋转靶材、第二旋转靶材、被溅镀物、主遮挡板单元、溅镀罩单元、控制部以及靶材；第一旋转靶材和第二旋转靶材并列设置、呈正棱柱状且能够中心旋转；被溅镀物设置在第一旋转靶材和第二旋转靶材的下方；主遮挡板单元设置在...该专利属于株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司授权不得商用。