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提出一种用于保护MEMS单元免遭红外线检查的方法，其中至少一个层被装入到所述MEMS单元的结构中或者至少一个层被施加到所述MEMS单元的表面上。在此，通过所述至少一个层将多于50%的、尤其是多于90%的入射到所述层上的红外线光吸收、反射或漫...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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