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应用于全硅棒滚磨设备中的位置调整装置制造方法及图纸
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下载应用于全硅棒滚磨设备中的位置调整装置的技术资料
文档序号:19302311
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本申请公开了一种应用于全硅棒滚磨设备中的位置调整装置,所述位置调整装置包括:承载单元,用于承载全硅棒;硅棒测量单元,用于对所述承载单元所承载的全硅棒进行测量;位置调整机构,用于调整所述承载单元的位置,对所述全硅棒进行位置调整以实现对中。如此...
该专利属于天通日进精密技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天通日进精密技术有限公司授权不得商用。
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