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本实用新型提供了一种多级耦合式重力补偿装置，包括由上至下依次设置的负载平台、重力补偿单元和支撑单元；所述重力补偿单元包括音圈电机、第一气缸及至少两个第二气缸，其中音圈电机为直线型音圈电机，第一气缸及第二气缸分别为气悬浮无摩擦气缸，且第一气缸...
该专利属于天津航天机电设备研究所所有，仅供学习研究参考，未经过天津航天机电设备研究所授权不得商用。

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