下载一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体的技术资料

文档序号:19277910

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本发明公开了一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体,包括上部框架和下部框架,上部框架上端面固接有电源连接部,上部框架上端面环形阵列有若干气管,下部框架与上部框架通过框架连接部固接,下部框架的直径大于上部框架,并且,下部框架比上部框架大的区域...
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