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一种AlGaN基深紫外LED外延结构制造技术
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文档序号:19272064
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所述AlGaN/AlGaN多量子阱有源区包括若干AlxGa1‑xN量子阱层和AlyGa1‑yN量子垒层;所述AlxGa1‑xN量子阱层和AlyGa1‑yN量子垒层相互交替,其中x,y均为固定值;所述AlGaN/AlGaN多量子阱有源区发光波...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
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