下载一种用于制孔质量检测的光谱共焦测量装置的技术资料

文档序号:19270070

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本实用新型公开了一种用于制孔质量检测的光谱共焦测量装置,包括检测单元,驱动所述检测单元转动的旋转机构,以及驱动所述检测单元和旋转机构共同上下运动的轴向驱动装置,所述旋转机构和轴向驱动装置还连接有进给协同控制器,所述检测单元电性连接有数据记录...
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