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本发明提供了一种铪掺杂二氧化锆铁电薄膜的制备方法及应用。首先以无机锆盐、无机铪盐为前驱体配制澄清透明的全无机铪掺杂二氧化锆(ZrHfO2)前驱体溶液；然后根据ZrHfO2薄膜的厚度要求，可多次将前驱体溶液涂覆在经过标准RCA清洗工艺清洗后的...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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