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基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器制造技术
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下载基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器的技术资料
文档序号:19252683
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一种基于二自由度压电作动器的精密工作台,本申请工作台面的两侧各有一个侧板,所述工作台面两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨,滚子滑轨的槽内放有滚子,滚子滑轨两端弯折部与侧板外壁相连,固定套筒固定在工作台面底部,固定套筒内有压力传感器,压力调节螺钉...
该专利属于金陵科技学院所有,仅供学习研究参考,未经过金陵科技学院授权不得商用。
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