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本发明的装置和技术的代表性实作为晶圆至晶圆堆叠或晶粒堆叠中有缺陷的晶粒提供修正。修正晶粒耦合至包括有缺陷的晶粒的堆叠中的晶粒。修正晶粒在电性上替代了有缺陷的晶粒。可选地，虚设晶粒可耦合至晶圆至晶圆堆叠中的其他晶粒堆叠，以调整堆叠的高度。...
该专利属于英帆萨斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过英帆萨斯公司授权不得商用。

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