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基板浮起输送装置制造方法及图纸
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下载基板浮起输送装置的技术资料
文档序号:19247678
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提供基板浮起输送装置,能够避免装置结构的复杂化,能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言,基板浮起输送装置具有:浮起载台,其使基板浮起;基板保持单元,其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持;以及输送驱动部,其在利用基板保持单...
该专利属于东丽工程株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽工程株式会社授权不得商用。
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