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本发明涉及一种具备调整样品的观察面相对于与物镜的光轴正交的基准平面的倾斜的构造的测定装置等。该测定装置具备配置于自光源朝向样品的照射光的传播路径上的变更照射光的出射角的扫描仪，且通过一边利用扫描仪变更照射光的出射角，一边将来自样品的反射光的...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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